クレステックは徹底したマーケットイン志向の電子線描写技術を専門としたナノテク企業です。

X-Y-Z TYPE EB Lithography system Application & process examples

◆General ultra precise
    nano processing
Ultra thin lines 極細線描画
Line & space ライン&スペース
Dot patterns ドットパターン
3D processing 3次元加工
Axial symmetrical patterns 回転対象パターン
◆Compound semiconductor DFB Diode Laser DFB半導体レーザ
◆Si semiconductor Next Generation 3gate MOS FET 次世代3ゲートMOS FET
Single electrical devices  
 ◆Media HDD test band HDDテストバンド
Magnetic head(GMR/TMR)  
Lenses for OpticalDisk  
MRAM  
Holographic memory ホログラムメモリー
◆Optical device Wave Guide  
Photonic Crystal フォトニック結晶
Microlens  
Holographic Device ホログラム素子
Blazed Grating ブレーズ回折光学素子
◆MEMS devices X-ray mask  
Bio chip  
Bio-MEMS  
uTAS(MicroTotalAnalysisSystem)  

Application examples of X-theta type EB mastering system

◆General ultra
   precise nanoprocessing
DVD mastering system index.html#ex11
HDD bit patterned media index.html#ex11

Application examples

 

Ultra thin line

極細線描画 極細線描画
5.6nm line example

Line & Space

ライン & スペース ライン & スペース
Minimum 40nm pitch 20nm Line & space

Dot patterns/HDD bit patterned media

ドットパターン   ドットパターン
 
ドットパターン    
Minimum10nmφ

3D processing/Microlenses/Blazed Grating

3次元加工 / マイクロレンズ / ブレーズ回折光学素子 3次元加工 / マイクロレンズ / ブレーズ回折光学素子

Axial symmetrical pattern/HDD patterned media test band

回転対象パターン / HDパターンドメディアテストバンド 回転対象パターン / HDパターンドメディアテストバンド
回転対象パターン / HDパターンドメディアテストバンド  

DFB laser

DFB半導体レーザ

Next Generation 3gate MOS FET

次世代3ゲートMOS FET

Holographic memory/holographic Devices

ホログラムメモリー / ホログラム素子 ホログラムメモリー / ホログラム素子

Wave Guide

光導波路 光導波路

Photonic Crystal

フォトニック結晶

DVD Mastering system

DVDマスタリング装置 DVDマスタリング装置