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X-Y-Z型 電子線描画装置 アプリケーションと加工例 |
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X-θ型 EBマスタリング装置のアプリケーションと加工例 |
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加工例 |
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極細線描画 |
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| 最小 5.6nm 細線描画例 |
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ライン & スペース |
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| 最小 40nmピッチ 20nmライン&スペース |
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ドットパターン / HDDビットパターンドメディア |
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| 最小 10nmφ |
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3次元加工 / マイクロレンズ / ブレーズ回折光学素子 |
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回転対象パターン / HDパターンドメディアテストバンド |
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DFB半導体レーザ |
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次世代3ゲートMOS FET |
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ホログラムメモリー / ホログラム素子 |
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光導波路 |
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フォトニック結晶 |
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DVDマスタリング装置 |
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