クレステックは徹底したマーケットイン志向の電子線描写技術を専門としたナノテク企業です。
革新的な最先端テクノロジーでお客様の満足を追求すること-それが私たちクレステックの使命です。
Japanese > アプリケーション(加工例)

X-Y-Z型 電子線描画装置 アプリケーションと加工例

◆ 超微細加工全般 極細線描画 極細線描画
ライン&スペース ライン&スペース
ドットパターン ドットパターン
3次元加工 3次元加工
回転対象パターン 回転対象パターン
◆ 化学物半導体 DFB半導体レーザ DFB半導体レーザ
◆ Si半導体 次世代3ゲートMOS FET 次世代3ゲートMOS FET
単一電子素子  
 ◆ メディア関連 HDDテストバンド HDDテストバンド
磁気ヘッド(GMR/TMR)  
光ピックアップ  
MRAM  
ホログラムメモリー ホログラムメモリー
◆ 光学デバイス 光導波路  
フォトニック結晶 フォトニック結晶
マイクロレンズ  
ホログラム素子 ホログラム素子
ブレーズ回折光学素子 ブレーズ回折光学素子
◆ MEMS関連デバイス X線マスク  
バイオチップ  
Bio-MEMS  
μTAS(MicroTotalAnalysisSystem)  

X-θ型 EBマスタリング装置のアプリケーションと加工例

◆ 超微細加工全般 DVDマスタリング装置 index.html#ex11
HDDビットパターンドメディア index.html#ex11

加工例

 

極細線描画

極細線描画 極細線描画
最小 5.6nm 細線描画例

ライン & スペース

ライン & スペース ライン & スペース
最小 40nmピッチ 20nmライン&スペース

ドットパターン / HDDビットパターンドメディア

ドットパターン   ドットパターン
 
ドットパターン    
最小 10nmφ

3次元加工 / マイクロレンズ / ブレーズ回折光学素子

3次元加工 / マイクロレンズ / ブレーズ回折光学素子 3次元加工 / マイクロレンズ / ブレーズ回折光学素子

回転対象パターン / HDパターンドメディアテストバンド

回転対象パターン / HDパターンドメディアテストバンド 回転対象パターン / HDパターンドメディアテストバンド
回転対象パターン / HDパターンドメディアテストバンド  

DFB半導体レーザ

DFB半導体レーザ

次世代3ゲートMOS FET

次世代3ゲートMOS FET

ホログラムメモリー / ホログラム素子

ホログラムメモリー / ホログラム素子 ホログラムメモリー / ホログラム素子

光導波路

光導波路 光導波路

フォトニック結晶

フォトニック結晶

DVDマスタリング装置

DVDマスタリング装置 DVDマスタリング装置