クレステックは徹底したマーケットイン志向の電子線描写技術を専門としたナノテク企業です。
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製品情報
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X-Y-Z型 電子線描画装置
X-θ型 EBマスタリング装置
面電子一括露光装置
電子線描画装置 CABL-9000Cシリーズ
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従来モデルのCABLシリーズに一層の簡易操作性と機能性を付加したマルチユーザー対応モデル
Windows OSベースのオリジナルCAD。GDSII, DXF変換ソフト可。
EBマスタリング装置 CEBRシリーズ
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次世代DVD及び次世代HDD(ビットパターンドメディア)用の回転ステージを使ったEBマスタリング装置です。
面電子一括露光装置
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ソフト可。45nmノード以降の量産露光用ソリューションとして脚光を浴びているのが、この”面電子一括露光装置”です。現在急ピッチで開発中です。
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