クレステックは徹底したマーケットイン志向の電子線描画技術を専門としたナノテク企業です。

導入事例 DFB-LD

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当社の製品を導入された企業様の導入経緯をご紹介しております。

光通信デバイスDFB-LDの生産ユーザー向けに、最小位
置決め分解能0.0012 nm を持つ異周期回折格子を実現

提案のポイント

クレステックは15年以上にわたって通信用半導体レーザー(DFBレーザーデバイス)の製造メーカー向けに装置を提供しています。電子ビームは電界により水平・垂直方向に偏向することで、レジストを塗布したウエハ上の任意の位置に照射します。この位置決め分解能はデジタルデータのbit数とフィールドサイズ(偏向幅)で決まります。
当社はデバイスメーカー様との共同出願特許「FSM(フィールドサイズモジュレーション)」技術により、フィールドサイズを超極微調整することで位置決め分解能0.0012nmを実現しました。DFBレーザの発振波長を決める回折格子パターンのピッチを細かく指定可能なため、Δλ=75nmの幅に40chの異なる波長のレーザを同時発振することができました。お客様要求にマッチした装置開発の成果です。

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