クレステックは徹底したマーケットイン志向の電子線描画技術を専門としたナノテク企業です。

提案のポイント

クレステックは20年以上にわたって通信用半導体レーザー（DFBレーザーデバイス）の製造メーカー向けに装置を提供しています。電子ビームは電界により水平・垂直方向に偏向することで、レジストを塗布したウエハ上の任意の位置に照射します。この位置決め分解能はデジタルデータのbit数とフィールドサイズ（偏向幅）で決まります。
当社はデバイスメーカー様との共同出願特許「FSM(フィールドサイズモジュレーション)」技術により、フィールドサイズを超極微調整することで位置決め分解能0.0012nmを実現しました。DFBレーザの発振波長を決める回折格子パターンのピッチを細かく指定可能なため、Δλ=75nmの幅に40chの異なる波長のレーザを同時発振することができました。お客様要求にマッチした装置開発の成果です。